供应 鹏城半导体 mocvd 金属有机化学气相沉积设备

鹏城半导体技术（深圳）有限公司提供供应 鹏城半导体 mocvd 金属有机化学气相沉积设备。

材料的输运采取了超纯的气路系统，源的切换和输入采用了多路组合阀进气技术。由于组合阀具有极小的死空间，使得源的残留量非常少，有利于生长具有陡峭界面的材料。

采用压差控制技术控制组合阀的旁路和主路之间的压力，降低了源的压力和浓度波动，有利于材料生长的重复性和稳定性。

采用了管道镶嵌式进气喷头，使反应源在衬底表面均匀混合并反应，降低了预反应的发生。

采用电阻式快速升降温加热炉。

     联系我们时请一定说明是在100招商网上看到的此信息，谢谢！
     联系电话：13632750017，13632750017，欢迎您的来电咨询！
     本文链接：https://www.zhaoshang100.com/chanpin/138395875.html
     关键词： pvd物理气相沉积 - cvd化学气相沉积 - 分子束外延系统mbe - PVD真空镀膜设备 - 热丝CVD金刚石设备