派瑞林-菱威纳米-绝缘涂层派瑞林镀膜

　 在微电子领域，近些年parylene应用发展较快，派瑞林纳米镀膜oem，真空气相沉积制备的parylene不仅可制精细尺寸的涂层，绝缘涂层派瑞林镀膜，而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外，在微米以下-规模集成电路制作中，派瑞林，还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料，-是氟代parylene，更被国外集成电路研究者所-，用作多层集成-规模集成电路的层间绝缘介质。　　　　parylene气相沉积涂敷工艺涂敷时，在工作上有很强的渗透性，能渗透到smt贴片工件的底部和工作表面疏松的毛细孔中，真正形成完全敷形，均匀一致的防护涂层。parylene气相沉积涂敷工艺没有溶剂、助剂，即使在0.1微米厚也没有，气态小分子在工作表面直接聚合成固态的涂层薄膜，没有通常涂层的固化过程和固化引起的收缩应力，对工件能进行表面加固，但不会引起伤害，也没有因表面张力而引起的涂层弯月面状不均匀。

parylene是一类特殊的热塑性聚合物家族的总称，它们在真空条件下稀薄的气体中形成并附着在表面。这些线性聚合物每单位厚度都有的屏蔽性能，具有的化学惰性及无性。parylene薄膜无色透明。液体涂层的平均厚度几乎为parylene的额定厚度的10倍左右。　　parylene在密闭的沉积过程中从粉末状原材料转化为气体，当它沉积在基材上时就形成了高分子膜。parylene在大约0.1托的真空室内形成。这时气体分子的平均自由程只有0.1厘米。因而沉积不会是直线型的，待涂敷封装物体的所有部分都会受到聚合气体不规则的撞击。