各种微生物的大小可如图1-1所示。大部分微生物在于0.3μm。-是的微生物,大约在0.005μm以上,其次是立克次氏体。细类很多,多数 在空气中以群体形式存在。常见的-大小为5.5~6.5μm,-为3.1~3.9μm,食品洁净工程,采用空气过滤器(0.5μm,过滤效率***99.9%)基本 上可将它们除去。
以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。 它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)lcd(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产mos电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
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