parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备parylene涂层介电常数也低,派瑞林设备,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,派瑞林,连接强度可提高5-10倍。
parylene不仅电性能,防护性能好,而且生物相溶性也好,它已通过美国fda论证,满足美国药典生物材料vi类标准,被列为是一种可以在体内长期植入使用的生物材料。传感器和换能器:自动化控制和-环境下使用的传感器、换能器, parylene涂层防护可以提高环境适应性和-性,涂层无,派瑞林技术,且具有防潮功能。各种传感器传感部件及弯曲管。适用于各种-环境。
在传感器领域,由于很薄的parylene 薄膜涂层就能对器件提供有效防护,对传感器的灵敏度影响很小。国外已有四千万种以上各种传感器用parylene 防护,其中有汽车传感器、腐蚀环境用传感器、生物医学用传感器等。
parylene是-的聚对二材料系列的统称,属于一种具有完全线形、高度结晶的高聚物。n型parylene是对二的高聚物,派瑞林绝缘涂层,在各类parylene中具有强的渗透能力,能够有效地在各种细缝或盲孔表面形成薄膜。它的介电常数极低(2.65)及耗散因子小,且随外界频率的增加变化不大;同时具有的润滑效果,主要用于橡胶、光学领域。
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