很多复杂氧化物薄膜在相对高的氧气压力(>;100 torr)下冷却是有利的。所有pioneer 系统设计的工作压力范围。从它们的额定初始压力到-压力。这也有益于纳米粒子的生成。
pioneer pld 系统的激光束入射角为45°,脉冲激光沉积装置公司,保持了激光密度在靶材上的均匀性,同时避免使用复杂而昂贵的光学部件。浅的入射角能够拉长靶材上的激光斑点,脉冲激光沉积装置多少钱,导致密度均匀性的损失。
为了避免使用昂贵的与氧气兼容的真空泵流体,消除油的回流对薄膜的影响,所有pioneer 系统的标准配置都采用无油真空系统。
我们的研究表明靶和基片的距离是获得较佳薄膜的关键参数。pioneer 系统采用可变的靶和基片的距离,对沉积条件进行较大的控制。
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脉冲激光沉积,就是将激光-于靶材上一个较小的面积,利用激光的高能量密度将部分靶材料蒸发甚至电离,使其能够脱离靶材而向基底运动,进而在基底上沉积,脉冲激光沉积装置,从而形成薄膜的一种方式。 在众多的薄膜制备方法中,脉冲激光沉积技术的应用较为广泛,可用来制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、-物及-物等各种物质薄膜,甚至还用来制备一些难以合成的材料膜,如金刚石、立方氮化物膜等。
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脉冲激光沉积也被称为脉冲激光烧蚀(pulsed laser ablation,pla),是一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,得到沉淀或者薄膜的一种手段。
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