海扬真空泵厂家-三津海真空泵碳片-同安区真空泵碳片

真空泵碳片

硅化石墨的制备

硅化石墨的生产方法主要有三种化学气相沉积法(cvd)，化学气相反应法(cvr)及液硅渗透反应法。

1.化学气相沉积(cvd))法

使含硅、碳的气体通过高温石墨基体发生热分解，生成sic沉积在石墨基体表面。原料为(ch3sic3)、氢、硅蒸气等。沉积温度范围较宽，从1175℃到1775℃。用此法生成的sic层非常致密，贝克真空泵碳片，厚薄均匀，一般厚度约为0.1～0.3mm。但sic与石墨基体的结合为纯机械结合，结合力较弱，在温度急变时sic层易发生龟裂、剥落。

-真空泵碳片

一．真空泵-叶片产品说明：

真空泵叶片也称真空泵旋片，一般旋片式真空泵内部均安装有真空泵碳片，真空泵叶片是真空泵抽真空时获取真空源的配件之一。真空泵旋片在泵体内不运转过程中会产生摩擦，在没有真空泵油润滑的情况下极容易导致真空泵碳片发生磨损或断裂、膨胀等现象。由此从而导致真空度不足，真空上不去。

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