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在1643年，意大利物理学家托里拆利发现，真空和自然空间有-和-压力存在。他将一根一端封闭的长玻璃管灌满，并倒立于槽中时，发现管中面下降，直至与管外的-差76厘米时为止。托里拆利认为，玻璃管面上的空间是真空，76厘米高的柱是因为存在-压力的缘故。

1650年，德国的奥托·冯·格里克制成活塞真空泵。1654年，他在马德堡进行了的马德堡半球试验：用真空泵将两个合在一起的、直径为14英寸(35.5厘米)的铜半球-真空，然后用两组各八匹马以相反方向拉拽铜球，始终未能将两半球分开。这个的试验又一次证明，空间有-存在，且-有-的压力。为了纪念托里拆利在科学上的重大发现和贡献，以往习用的真空压力单位就是用他的名字命名的。

19世纪中后期，英国工业-的成功，促进了生产力和科学实验发展，同时也推动了真空技术的发展。1850年和1865年，先后发明了柱真空泵和滴真空泵，资源对接高温高压清洗机，从而研制成了白炽灯泡(1879)、阴极射线管(1879)、杜瓦瓶(1893)和压缩式真空计(1874)。压缩式真空计的应用使低压力的测量成为可能。

20世纪初，真空电子管出现，促使真空技术向高真空发展。1935～1937年发明了气镇真空泵、油扩散泵和冷阴极电离计。这些成果和1906年制成的皮拉尼真空计至今仍为大多数真空系统所常用。1940年以后，真空应用扩大到核研究(回旋和同位素分离等)、真空冶金、真空镀膜和冷冻干燥等方面，真空技术开始成为一个独立的学科。第二次期间，原子物理试验的需要和通信对高电真空器件的需要，又进一步促进了真空技术的发展。