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经过几十年的发展,尤其近十多年的研究与发展,mems技术已经显示出了-的生命力,此项技术的有效采用将信息系统的微型化、智能化、多功能化和-性水平提高到了一个新的高度。
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而传统的大体积弱功能传感器往往很难满足上述要求,所以它们已逐步被各种不同类型的微型传感器所取代;后者主要由硅材料构成,具有体积小、重量轻、反应快、灵敏度高以及成本低等优点
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热电阻测温是基于金属导体的电阻值随温度的增加而增加这一特性来进行温度测量的。 热电阻大都由纯 金属材料制成,目前应用多的是铂和铜,此外,已开始采用镍、锰和铑等材料制造 热电阻。
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