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进口莱宝分子泵-潽拓光电-进口莱宝分子泵发动机

进口莱宝分子泵-潽拓光电-进口莱宝分子泵发动机

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    2021-8-26

邹先生
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    莱宝leyss turbovac mag w 3200涡轮分子泵



     turbovac mag w 3200 c/ct常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- cvd;- 光刻。这些应用中,进口莱宝分子泵发动机,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在mag 1500 c、mag 2000 c、mag2800和mag 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,进口莱宝分子泵抽速,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏











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     pps-90系列便携式分子泵机组,为高真空抽气系统提供了解决方案。改泵组采用turbovac 90 i分子泵

作为高真空泵,前级搭载双极旋片油泵或浮动式涡旋干泵。pps-90系列分子泵机组配置真空测量规管

-,选配真空规管套件后只需将数据线连接在卡上,便可轻易读取真空度数值。








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