经过近半个世纪的努力,今天的-质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面:
(1)便携式:近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可-数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准-峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,冷柜内胆真空箱-检漏设备,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,范围很宽,不仅可检测-气,压缩机真空箱-检漏设备,而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如:瑞士、日本采用改变分子泵转-达到此目的,且提高检漏灵敏度。
另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸检漏提供了-的条件。
-质谱检漏法是利用-质谱检漏仪的-分压力测量原理,实现被检件的-泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体-气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入-质谱检漏仪后,由于-质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的-气分压力信号值。在获得-气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对-泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,可以将-质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,-检漏设备,下面分别总结了这四种-质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
真空法-质谱检漏
采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用-罩或喷吹的方法在被检产品外表面施-气,当被检产品表面有漏孔时,-气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入-质谱检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空-罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹-气,可以实现漏孔的准确定位; 真空-罩法采用有一定密闭功能的-罩将被检产品全部罩起来,在罩内充满一定浓度的-气,冰箱.冷柜内胆真空箱-检漏设备,可以实现被检产品总漏率的测量。
适当的维护您的检漏仪是非常-的,具体步骤如下:
1、探头清洁:利用附送的防护罩防止灰尘、水汽和油脂阻塞探头,在使用本仪器前,均要检查探头和防护罩确无灰尘或油脂。
2、拉下防护罩;
3、用工业毛巾或压缩空气清洁防护罩;
4、如果探头本身也脏,可浸入像酒精等温和清洗剂几秒钟,然后用压缩空气或工业毛巾清洁,严禁用像矿物油等溶剂,这样易降低仪器灵敏度。
5、探头更换:探头终总要失效,需更换。由于探头寿命直接和使用条件和频次相关,因此较难预计准确的更换时间。当在清洁、纯净空气中报警或不稳定时,应更换探头,具体探头步骤是如下:
(1)确认本仪器处于关闭状态
(2)逆时针旋下旧探头
(3)顺时针旋上包装箱中提供的备用探头。
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