蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。水环式真空泵初用作自吸水泵，海南真空泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医i药及食品等许多工业部门。
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵。
真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。有的真空泵不能在-压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于-压，真空泵价格，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。
真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，电子真空泵，便于检查、维护、保养。如真空泵口安装电磁阀时，旋片式真空泵，阀与真空泵应同时动作。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。真空泵与系统的连接管道应密封-，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，
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