湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的-企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,氮化炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
低压气体放电的一种类型,在发射光谱分析中用作气体分析和难激发元素分析的激发光源。在玻璃管两端各接一平板电极,充入惰性气体,加数百伏直流电压,管内便产生辉光放电,其电流为10-4~10-2a。放电形式与气体性质、压力、放电管尺寸、电极材料、形状和距离有关。
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与气体渗氮相比适应范围广泛。可用于不锈钢模具的渗氮,利用离子的轰击作用,可以内动去除不锈钢、耐热钢模具表面的钝化膜,可直接进行不锈钢模具的渗氮。
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?选用正弦波中频靶电源,由于波形的原因,靶面产生打弧的几率-并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层要求较高的溅射工艺。??一般来说,射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比,可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如,1.0×1-2pa)。??
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