电容式位移传感器尤其适合缓慢变化或微小量的测量,一般来说采用电容式传感器进行检测比较适宜。电容式位移传感器的这些性能必然促使其应用范围越来越广泛。主要用于解决压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等测量问题。
优点:具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外,还具有信噪比大,灵敏度高,零漂小,频响宽,非线性小,精度稳定性好,抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。
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