光刻工艺
是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤,利用-和显影在光刻胶层上刻画器件结构,再通过刻蚀工艺将掩膜上的图形转换到衬底上。原位芯片目前掌握电子束光刻,步进式光刻,接触式光刻等多种光刻技术.
光学掩模板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性-的一种结构。掩膜版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版,如ic(integrated circuit,集成电路)、fpd(flat panel display,平板显示器)、pcb(printed circuit boards,印刷电路板)、mems(micro electro mechanical systems,微机电系统)等。
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服务!
业内又称光掩模版、掩膜版,英文名称 mask 或 photomask),材质:石英玻璃、金属铬和感光胶,该产品是由石英玻璃作为衬底,在其上面镀上一层金属铬和感光胶,成为一种感光材料,把已设计好的电路图形通过电子激光设备-在感光胶上,被-的区域会被显影出来,在金属铬上形成电路图形,成为类似-后的底片的光掩模版,然后应用于对集成电路进行投影定位,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻,其生产加工工序为:-,显影,去感光胶,后应用于光蚀刻。
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掩膜板是光刻图形的基准和蓝本,掩膜板上:的任何缺陷都会对终图形精度产生-的影响。所以掩膜板必须保持“完关”。
使用掩膜板存在许多损伤来源:掩膜板掉铬:表面擦伤,需要轻拿轻放:静电放电(esd),在掩膜板夹子.上需要连一根导线到金属桌面,将产生的静电导出。另外,不能用手触摸掩膜板:灰尘颗粒,在掩膜板盒打开的情况下,不准进出掩膜板室(mask room),在存取掩膜板时室内保持2人。
掩膜版-光刻版(图)由苏州优版光电有限公司提供。“光电材料,光刻掩膜版”就选苏州优版光电有限公司,公司位于:苏州工业园区星湖街328号崇文路国华大厦b418室,多年来,苏州制版坚持为客户提供好的服务,联系人:马经理。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。苏州制版期待成为您的长期合作伙伴!
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