随着科技的迅猛发展，-质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的-质谱检涮仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观较新-质谱检漏仪的性能特点发现，-质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等-方向发展，这些特点-地满足了当前检漏应用的需求，真空箱式-检漏，也-的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。-质谱检漏仪的基本原理与结构-质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束，空调两器真空-检漏，以一定能量注入质分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
离子检测器的作用是手机分析器所选定的-离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和-气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的-质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，-气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主流的产品。
机械泵的工作方式不一样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
1、高压氮气强度检测真空箱内进行，保护操作者安全
2、真空箱内-气本底抑零，-了检漏的准确性、。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序，可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件，并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、-技术的密封接头，减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，-了系统的操作安全及-运行。
7、plc控制，使系统运行清晰明了，实现了实时监测及控制。
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1.真空箱尺寸根据电芯尺寸确定;
2.一般为三箱联动系统，生产节拍可满足单台6ppm—12ppm；
3.开门方式，可根据用户生产工艺要求来设计，一般为平开门式、滑台合箱式；
4.上下料采用机械手或机器人，正常生产时设备无需人工操作；
5.系统配置-扫描装置，可将每个电芯的检测数据对应存储；
6.具有清-功能
7.具有-气回收功能（此功能可选）
8.自动判断，并对应放置（即不合格品放于不合格线，合格品放于合格线）
9.可通过触摸屏设置不同等级密码，更改设备参数；
10.人机交互界面，触摸屏实时反映运行状态和测试数据；
11.故障统计功能
12.系统采用配置和标准化设计制作，电力开关真空箱-检漏，-运行稳定，性能-。
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