洁净室压差波动干扰因素及控制方法:
室外风压、风速的变化等引起洁净室对室外保持压差的变化。
沿海城市与风速较大的城市须进行迎面风速压力复核计算,调整压差值。
空调系统在随时间的运行,系统的阻力会发生一些变化,主要是由于过滤器阻力的变化,引起送风量的变化,影响到洁净室压差的建立,因为空调系统运行到一定时期后系统的阻力变化止一定的数值时,系统阻力增大,影响到总送风量减小,实际送风量小于设定送风量,无法-原有的室内压差的建立。同时由于洁净室内人员流动,洁净室内门窗频繁开、启,洁净室内原有密封性能降低,-漏风后都影响到洁净室内原有压差的建立。针对以上的问题。为-洁净室室内始终保持一定的压差,激光工业车间净化,须采取一定措施来维持室内正压。
对于表中所列平均粒径名称要注意的是,在文献中常出现互相颠倒的称呼,例如此处称“平均面积直径”,而彼处则称“面积平均直径”,所以只有知道其表达式才能 弄清准确意义。但是,若从概念出发,这是容易弄明白的。例如在表1-1中,“平均面积”显然是指所有的面积被某种量(如粒数)去平均,因此面积在分子上;“面积平均”(比面积)显然是指单位面积而言,因此面积在分母上。记住这个原则,就不会混淆了。至于选用哪种平均直径合理,这要看工作目的而定。研究计重测尘时显然应采用和有关的直径dv;丽研究微粒的光散射性质时宜用平均面积直径ds或平均体积直径dv,因为光散射量在不同的粒径范围内,可能与微粒面积或者微粒体积有关;在与光的折射性质有关的范围内的问题应采用算术平均直径d:,这种性质与微粒长度因次有关。 现举例计算微粒平均直径。在钠焰法测尘中,用电子显微镜测得在送风气流中采样的某标本片上的823个-微粒的短边尺寸,假定读值时放大倍数为30000倍(即包含电镜放大倍数和对电镜照读数用的读数显微镜的放大倍数。
降低洁净室的热(冷)负荷的技术措施
根据产品生产工艺要求,确定合适的洁净室内空气洁净度等级和温度、相对湿度参数,在满足生产工艺的前提下,从节约能源的角度出发,微电子车间净化,按不同工序房}间的不同要求确定空气洁净度等级、温度、相对湿度参数,九江车间净化,可能就低时尽可能采用较低的取值。 洁净厂房设计时,车间净化施工,应与业主、产品生产工艺技术提供者充分交流,反复讨论比较,合理进行洁净分区规划,尽可能地减少洁净室面积或减少高2级别类洁净室的面积,这是降低洁净厂房的热(冷)负荷的有效途径。
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