真空系统-真空系统维修-真空系统检漏

漏孔校准采用四极质谱比对法校准。比对法校准较小漏率真空漏孔时，真空系统，为了得到与被校漏孔相同或相近的气体流量，一般采用固定流导法作为标准气体流量获得的手段，该方法具有结构简单、操作方便、测量不确定度小、校准精度-优点。

　　原理为利用已知流量的标准漏孔，通过稳压室压力的调节，向双球校准室注入稳定流量的气体，并利用分子泵机组对真空校准室持续抽气，真空吸盘系统，并通过微调阀调节气体的流量，使校准室压力维持在合适的校准压力范围内，为校准室建立起漏孔气体的动态平衡。首先利用四极质谱计获得标准漏孔的离子流参数，再切换到被较漏孔，获得被较漏孔状态下的四极质谱计离子流。通过公式(1)计算得出被较漏孔漏率数值。

系统首要组成部组件有：真空泵、压力传感器、真空电离规、阀门、管路、气瓶和控制器。试验腔的真空环境经过涡轮分子泵完成，涡轮分子泵是靠高转速的转子带着气体分子取得真空的一种机械真空泵。工作压力范围在1~10-8 pa。-的泵可以取得10-9 pa的-压力，分子泵首要用作真空泵和高真空泵，但涡轮分子泵不能直接对-排气，需要装备前级泵，而且其首要功能(-压力和抽速)都和装备的前级泵的容量、转速，被抽气体的种类有关。为了节省空间资源和下降能耗，体系中可充分利用空间的真空环境，省去分子泵的前级泵。