光学微电子净化工程解决方案:
4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点
b、室内空气参数要求 :
(1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
(2)新风量大。由于这类车间内,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的大值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;-室内每人每小时的新鲜
空气量***40m3/h。
(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡,洁净室,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,洁净室报价,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是***25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是***15次/h)。
空气洁净度等级标准及规范:
经济和科技发达的和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准,都规定了有关的洁净度等级,洁净室工程公司,例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布<洁净厂房设计规范>(gbj73-84),1996年该规范进行了较大的修改,1990年颁布<洁净室施工及验收规范>(jgj71-90)以指导施工和验收的重要文件。该规范在重新修订中。
净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(clean
tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:
a.弹性扩充容易;
b.维修设备时可在维修区轻易执行。
洁净室-清阳净化系统工程-洁净室工程公司由昆山清阳净化系统工程有限公司提供。昆山清阳净化系统工程有限公司是江苏 苏州 ,其它的企业,多年来,公司贯彻执行科学管理、-发展、诚实守信的方针,满足客户需求。在清阳净化系统工程-携全体员工热情欢迎-垂询洽谈,共创清阳净化系统工程美好的未来。
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