太原不锈钢卫生管-双力不锈钢有限公司-316l不锈钢卫生管

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304不锈钢管不同位置的dlc涂层的断面形貌。结果显示，304不锈钢卫生管，涂层有明显的多层结构，层与层之间结合紧密，太原不锈钢卫生管，没有微观缺陷以及裂纹。涂层由10个周期组成，而每个周期层包含一个si x-dlc和一个si y-dlc。表3中列出了不同位置处的dlc涂层的厚度和表面粗糙度，dlc涂层的厚度从进气口处的5.60μm逐渐增加到10.26μm。因此，装载有hipims电源的pecvd设备有望实现更长管道内壁dlc涂层的制备。

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304不锈钢管基底和不同位置处的dlc涂层的硬度和弹性模量。304不锈钢管内壁的硬度和弹性模量分别为4.1 gpa和199.5 gpa，316l不锈钢卫生管，而dlc涂层的硬度均在10 gpa以上，并且沿着管道径向呈现先减小后增大的变化趋势，在17 cm位置处硬度，为10.5 gpa。尽管如此，装载有hipims电源的pecvd技术沉积的dlc涂层的硬度要比低压直流脉冲电源[14]在低频时（均匀性较好的频率）沉积的dlc涂层的硬度要高。此外，r.matsui等[20]采用微波激发pecvd装置在不锈钢管内沉积的dlc涂层的硬度为11 gpa，与本实验中所沉积的dlc涂层的硬度值相当。因此，本实验的dlc涂层有着-的力学性能。