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真空箱法-质谱检漏的原理与系统特点

真空箱法-质谱检漏的充气回收检漏系统

1．配置与气路控制

真空箱：一般为双工位，-测漏系统，两个不锈钢真空箱，空调管路真空箱-测漏系统，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。

工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：-气储存罐(高压罐)，-气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。

真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、plc系统(可编程逻辑控制器)，充-回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。

2.系统检测过程

1)、通过v1、v4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭v1，打开v2

2)、充-系统通过v2对工件进行充-至核定的压力，稳定，关闭v2

3)、关闭v4，打开v3、v5，处在正常工作状态待命的-质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断v3、v5，打开v2对-气进行回收。

4)、关闭v2打开v6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。

5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的-气回收，对真空箱和管道巾的-气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。

6)、维持泵有一定的-分流作用，不宜过大(不超过41)，清洁泵也同样。

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-质谱检漏仪的注意事项

检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射-气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。

检漏时喷枪在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上-气在真空系统中的传递时间，即为两次喷-的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。笔者根据实测经验，两次喷-的较小间隔时间控制在30s左右，即如果次喷-后30s内检漏仪还没有反应，则可进行第二次喷-。

清除时间在理论上与响应时间相同，但由于仪器零件对-的吸附和脱附作用的影响，清除时间一般要更长些。笔者-，在测试到数量级为10-9p a ?m3/s的微漏漏点时，清除时间约须1分钟；在测试到数量级为10-8p a ? m3/s的中漏漏点时，清除时间约须2分钟；在测试到数量级为10-7pa?m3/s的大漏漏点时，清除时间在3分钟左右。

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