-质谱检漏仪是现在比较常用的检测仪器，那么在使用过程中我们又遇到哪些问题呢？今天科仪-的小编就和大家来一起总结一下！
一、为什么用-气作为示踪气体？其他气体可以吗？（1）在空气中含量低(只有5 ppm)，环境本底低
（2）惰性气体不易1燃，不易1爆对环境没有污染，不与其他物质反应，可以混合到任意浓度
（3）-，可以用在食品工业
（4）在质谱仪谱图中易于与其他物质区分
（5）比空气轻，运动速度快
（6）气体分子很小，可以穿过微小的泄漏孔
（7）其它气体也可以
二、喷-检漏的注意事项。
（1）被测系统应尽量清洁，干燥，无油
（2）如果测量条件发生变化（温度），电力中高压真空箱测漏设备，需要重新对检漏仪做内部较准
（3）-气比空气轻，喷-法检漏应注意方向
（4）尽量不要使用密封脂（油脂会大量吸附-气）
（5）不要向环境释放大量-气
（6）真实的漏率信号应当是快速上升的信号，相对缓慢下降的信号
三、漏率（leak rate）
在已知漏泄处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。
注：采用国际单位制时，漏率单位为：pa?m3/s。
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-质谱检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业，甚至乡镇企业、个体企业，可以说应用领域极其宽广。
航空航天-工业
1）例如火箭发动机及姿态发动机，测漏设备，过去是-刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用-质谱检漏仪检漏，采用正压吸枪与-罩法结合，真空箱测漏设备，使检漏灵敏度-提高，从而-了发动机。火箭箭体的检漏采用正压吸枪、-罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用，提高了检漏灵敏度，弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足。
2）km6空间环模装置设备庞大，主真空室直径12m、高22m，另外有辅助真空室和载人舱等。容积3500m3，分系统多，结构复杂，各种接口焊缝相加有几千米长，采用-质谱检漏仪负压检漏，每条焊缝由检漏盒密封，配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后，充入一定压力-气，关闭预抽阀，开启检漏阀。由于盒内-浓度较高，相对检漏仪又有一定压力，因此有效提高了检漏灵敏度。
3）航天工业中，卫1星、各类阀门、电子元器件，传感器等等都在广泛应用-质谱检漏仪及其检漏技术。
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随着科技的迅猛发展，-质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的-质谱检涮仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观较新-质谱检漏仪的性能特点发现，-质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等-方向发展，这些特点-地满足了当前检漏应用的需求，也-的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。-质谱检漏仪的基本原理与结构-质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束，以一定能量注入质分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
离子检测器的作用是手机分析器所选定的-离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和-气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的-质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，-气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主流的产品。
机械泵的工作方式不一样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
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