高纯氮气主要运用在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，-销售，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯-置换。
高纯气体(purified gases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。
高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，-而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、-可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的-。
高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体
烯烃类：
乙烯（c2h4）、（c3h6）、-烯（c3h4==）、1--（1-c4h8）、异-（i-c4h8)、反-2--（t-2-c4h8）、顺-2--（c-2-c4h8）、1.2--（1.2-c4h6）、1.3--（1.3-c4h6）、（c2h3cl）等；
炔烃类：
（c2h2）、1--（1-c4h6）、2--（2-c4h6）、-（c3h4）、-（c4h4=≡）等；
其他：
二（c2h6o）、甲-（ch4s）、熏蒸剂（c2h4o-co2)等
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