一些真空泵维修人员由于对真空设备结构、原理不清楚，不认真分析故障原因，不能准确判断故障部位，凭着“大概、差不多”的思想盲目对机械大拆大卸，真空泵维修在哪里，结果不但原故障未排除，而且由于维修技能和工艺较差，又出现新的问题。因此，当机械出现故障后，要通过检测设备进行检测，真空泵维修，如无检测设备，可通过“问、看、查、试”等传统的故障判断方法和手段，结合真空设备的结构和工作原理，确定可能发生故障的部位。
在判定真空设备故障时，一般常用“排除法”和“比较法”，按照从简单到复杂、先外表后内部、先总成再部件的顺序进行，切忌“不问青红皂白，盲目大拆大卸”。
真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有-的抽速，但不能抽-，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在-压下工作，需要预真空。有的真空泵出口压强低于-压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
目前有两代涡旋泵产品。代产品由于轴承密封隔离不是-，莱宝真空泵维修，不能做到完全无油，故不使用。第二代产品是单级涡旋设计。只有一个轴承，轴承与真空腔隔离，完全无油。并且装有控制系统，可变频控制0、50、60、70hz，故性能较好。产品不需要维修，2～3年更换密封件，维护方便、简单，具有较强的抽水蒸气能力。boc公司的涡旋泵在我国销量达100台/年左右。美国varian公司:美国varian公司1998年开发了涡旋泵，到目前已有三代涡旋泵产品。代产品已基本停产。第二通过技术改进，形成了风格的二级设计:级是三涡旋线同时抽气，可提高抽速，工作在从-压到5．5×104pa;第二级是单涡旋线，从5．5×104pa到-。一、二级同时工作，是真正的(从压力角度区分的)两级泵。第三代产品是在第二代产品上增加了控制系统。varian公司的涡旋泵是其干式泵的主打产品，作为分子泵的前级主泵，不需要维修，2～3年更换密封件，维护方便、简单，因此在我国销量达100台/年以上。
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