合肥千级洁净室-安徽科林尔(商家)

洁净室中的温湿度控制

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，千级洁净室，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在-集成电路生产的光刻-工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，-是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

洁净室检测之静电检测与验收

防静电工程中的电气施工交接验收除应符合有关标准的规定外，还应符合下列规定：

a.电子设备和设施的电影插座应全数检测，实际测得的中性线和接地线之间的电位差应不大于1v。

b.绘制相关的防静电工程电气施工竣工图。

防静电工程中的接地系统应进行专项验收，在交接验收时应提交下列文件和资料。

a.整个接地系统的竣工图，应标明各类接地连接点的实际位置和连接方式。

b.整个接地系统的实际施工记录，以及主要材料和配件质保书、合格证或出厂检验证明。

c.接地连接部位的电气连接-性的检查记录和接地连接部位之间的电阻值的测试记录。

d.接地电阻值的测试记录和接地装置的隐蔽验收-。

按电子行业标准sj/t10694的检测方法，检测防静电安全工作台的对地泄放电阻值应为1.0×105～1.0×109ω。