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入口法兰 dn100iso-k,dn100cf
出口法兰 dn25nw
标称旋转速度 60000 rpm
待机旋转速度 可在 33000 至 60000 rpm 之间变化(默认为 42000 rpm)
控制器 tic200 分子泵和仪器控制器
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