




检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度,正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时,在漏点处喷射-气5~10s后,检漏仪就发生响应,对于如此庞大的真空系统,其反应是相当的灵敏。
检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上-气在真空系统中的传递时间,即为两次喷-的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,检漏设备,该间隔时间也越长。笔者根据实测经验,两次喷-的较小间隔时间控制在30s左右,即如果次喷-后30s内检漏仪还没有反应,则可进行第二次喷-。
清除时间在理论上与响应时间相同,sf6真空箱检漏设备,但由于仪器零件对-的吸附和脱附作用的影响,清除时间一般要更长些。笔者-,在测试到数量级为10-9p a ?m3/s的微漏漏点时,清除时间约须1分钟;在测试到数量级为10-8p a ? m3/s的中漏漏点时,清除时间约须2分钟;在测试到数量级为10-7pa?m3/s的大漏漏点时,清除时间在3分钟左右。
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-质谱检漏仪品牌浅析什么是-质谱检漏仪
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真空模式:5 · 10-13 pa m3/s
吸的模式:5 · 10-10 pa m3/s
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主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成,离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子,分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同;在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,再设计时只让-离子飞出分析器的缝隙;打在收集器上,sf6充气柜真空箱检漏设备,收集放大器收集-离子流并出入到电流放大器,通过测量离子流就可知漏率。
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