(1)内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到-震动，此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
(2)定位方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将-源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。喷吹时，要严格控制-源的流量，尽量采用喷咀流量小的喷，提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。
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-质谱检漏的检测精度高，可达到1×10-7pa·m3/s。电池-检前先将电池里的空气抽掉，然后注入-气，用-质谱检漏仪探测有没有-气漏出，从而判断电池的气密性是否完好。电池-检一般为两种方式：一种是在电池生产的中间环节，即在电池烘干注液之前进行检漏，电芯在真空箱内充-气及检测，此法可以检测电池盖板、盖板焊接及电芯壳体等部位的气密性是否达标；另一种是在成品环节检漏，电芯在箱外充-，电芯注入电解液的同时将-气充入电芯内部，然后将电池放入真空箱内进行检漏。
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(1) 漏率校准 校准系统的组成
校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的-质谱检漏仪组成。
示值误差
通电预热，待-质谱检漏仪启动完成后，采用标准漏孔对-质谱检漏仪进行校准，将一经过校准的标准漏孔接入-质谱检漏仪系统，运行-质谱检漏仪，待漏率示值稳定后，可以读出标准漏孔漏率的-质谱检漏仪示值，同一标准漏孔测量三次，计算-质谱检漏仪示值平均值，氢气发动机-检漏设备，从而得到标准漏孔漏率与-质谱检漏仪示值平均值的示值误差。结束后，将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入-质谱检漏仪系统进行测试，得到-质谱检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。
如果测试结果有较大编差，可以考虑-质谱检漏仪的自校功能，待完成后，再用标准漏孔进行测试。
重复性
测量重复性是用实验标准偏差表征的，本校准方法采用极差法来表征重复性。在示值误差测量中，每一标准漏孔用-质谱检漏仪重复测量三次，可用公式(2)计算-质谱检漏仪在该漏率下的重复性。
今天和大家分享的是-质谱检漏仪的校准方法，如您想了解更多的产品信息，您可拨打图片上的电话进行咨询！
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