(1)内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2),位于隔热板的上方:检漏仪测试口与阀门组块的连接部位,密封方式采用胶灌密封,检漏仪在运输过程中如遇到-震动,此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封,橡胶圈的密封寿命有限,使用5 年以上时,有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
(2)定位方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测,因检漏仪内部结构紧凑,各密封结构间的距离很近,检测时定位难度较大。经摸索,在检测时采用以下技巧,可提高定位的能力:查漏前,先将分子泵风扇的电源断开,避免风扇将-源吹散至各个密封环节,造成定位不准确。喷吹时,要严格控制-源的流量,尽量采用喷咀流量小的喷,提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s,所以在一个部位喷吹的时间约3 s,再等待约3 s 后观测信号有无变化。
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1.为了正确使用-气检漏设备,在充入检漏气体前有-对抽空样品进行预抽空。如果在填充前没有排空,试件中的空气将被挤压到几何空间的末端,-气检漏设备中的气体不能进入该部分,因此潜在的检漏孔将仅释放空气,空调换热器-检漏系统,检漏设备不能检测到这些检漏孔。
2.-气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中,这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满,从而-影响检漏结果。
3.在填充检漏气体之前,有-快速测试是否有大的泄漏。对大泄漏孔的一个简单测试方法是在短时间内抽空样品并观察抽空压力。如果样品能够保持抽空压力,则表明没有大的泄漏孔,可以填充泄漏检测气体。
4.如果气密检漏仪在运行过程中没有在高压下进行泄漏测试,那么-气检漏设备就不能检测到一些泄漏孔。因此,在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。
5.检漏试验中的可检测泄漏率与检漏气体的背景浓度有很大关系,背景浓度越高,波动越大。如果泄漏测试后泄漏检测气体排放到泄漏检测区域,空调制冷截止阀真空箱-检漏系统,背景浓度将在整个工作日持续增加。此外,在加注或排放过程中,-没有气体溢出,并定期检查连接件是否有泄漏。
6.如果检漏气体泄漏-和氢,它将像气球一样飞到检漏区的室顶,并逐渐漂浮在整个检漏区。因此,应该为泄漏测试区域提供足够的通风。由于两种泄漏检测气体都倾向于向上移动,因此建议从底部输入新鲜空气,从顶部向外排放气体。
-质谱检漏法是利用-质谱检漏仪的-分压力测量原理,实现被检件的-泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,-检漏系统,示漏气体-气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入-质谱检漏仪后,由于-质谱检漏仪的选择性识别能力,铸铝件-检漏系统,仅给出气体中的-气分压力信号值。在获得-气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对-泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,可以将-质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,下面分别总结了这四种-质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
真空法-质谱检漏
采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用-罩或喷吹的方法在被检产品外表面施-气,当被检产品表面有漏孔时,-气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入-质谱检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空-罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹-气,可以实现漏孔的准确定位; 真空-罩法采用有一定密闭功能的-罩将被检产品全部罩起来,在罩内充满一定浓度的-气,可以实现被检产品总漏率的测量。
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