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真空炉检漏服务中心-科创真空-真空箱式真空炉检漏服务中心

真空炉检漏服务中心-科创真空-真空箱式真空炉检漏服务中心

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    2022-2-7

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-质谱检漏

近年来,随着科学技术的飞速发展,-质谱法检漏及其应用技术不断发展和完善。 各地的制造商推出了各种类型的-质谱检漏仪,真空炉检漏服务中心,广泛应用于航空航天、电力电子、汽车、制冷和等行业。 综观新型-质谱检漏仪的性能特点,-质谱检漏仪正朝着高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等-方向发展,蒸发器真空炉检漏服务中心,这些特点满足了检漏应用的需要,推动了-质谱法检漏技术的发展。





-气在在半导体中的检漏作用

为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化,就必须采用管壳来密封。但是在管壳的封接处或者引线接头处往往会因为各种原因而产生一些肉眼难以发现的小洞,所以在元器件封装之后,真空真空炉检漏服务中心,就需要采取某些方法来检测这些小洞的存在与否。 -气检漏就是采用-气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为-原子的尺寸很小,容易穿过小洞而进入到管壳内部,所以这种检测方法能够检测出尺寸很小的小洞(即能够检测出漏气速率约为10?11~10?12cm3/sec的小洞),灵敏度可与性检漏方法-,但要比性检漏方法简便。

-气检漏试验的方法:首先把封装好的元器件放入充满-气的容器中,并加压,让-气通过小洞而进入管壳中;然后取出,并用压缩空气吹去管壳表面的残留-气;接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的-气。






喷-法-质谱检漏方法

这是常用的一种方法,一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷喷-,如图4 所示,如果被检器件某处有漏孔,充气柜真空炉检漏服务中心,当-喷到漏孔上时,-气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,-质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:-气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷-,喷-时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时-气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷-应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。






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