1.注意:通电后,若有无法启动的问题,一种可能性是因为真空泵电源线连接松动,另一种原因是真空泵自身的开关未开启。
2.要样品放入手套箱时,尽量使用小过渡舱,打开过渡舱门前需先注意阀门腔上的压力表指针是否在零的位置。若是,则可直接打开;若否,则需先将阀门腔下的开关转至“填充”的位置,使气体进入手套箱过渡舱内,再将开关转回中间位置,此时可以打开过渡舱门将样品放入,再将舱门关上。放置样品时,需小心不要用手触摸过渡舱内壁,请佩戴手套取放样品。
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-的防泄漏技术
防止辐射:使用铅板、含铅玻璃、含铅手套
-水氧含量:威格无泄漏密封使得手套箱在负压下运转,维持水氧含量小于1ppm
安全更换手套:负压更换手套避免空气和核1泄漏,箱体内水氧含量上升值不超过1ppm
安全核物料转移:使用bag-in-bag-out装置,-物料转移过程中不污染环境。
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oled器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的关系到器件和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有mg/ag、mg:ag/ag、li/al、 lif /al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ito玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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