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分子泵油池安装注意事项、拆油、油量控制、油池卫生，防颗粒、对好、对称上紧螺钉，防止有漏
3进出口法兰、冷却水安装、泵入口：对正、对称拧紧、泵出口：防止错位、冷却水：无漏水；入口水压0.2mpa；水温20±５℃；水质澄清无沉淀注意：环境温度：风冷需小于32℃;水冷可至40℃入口压强：强制风冷
电缆安装注意事项、对正槽口插入、用螺母拧紧，边插边拧、检查-
5振动隔离、冲击防护
1分子泵振动，可直接接于被抽系统。对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便很大可能的减少振动。2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）
气体振动（气量突变、压强突变）
意外振动（掉入异物、碰撞等）注意：没有对泵进行-防护，容易造成分子泵-的破坏、甚至碎泵。
6-载、热气体、突变气载
a引起问题：温度升高；动静片变形；转子上移；润滑失效5℃原则；轴承失效b.措施：加大水冷；增加冷却装置；缩短换油时间
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分子泵使用中有哪些注意事项？2.一文了解分子泵在半导体行业的应用3.如何科学地获得真空？4.国际热核聚变试验堆（iter）的真空结构5.一千多台样泵用于各项测试，仅选很优方案，-新型分子泵测试方法；真空-真空行业-平台：涡轮分子泵应用于质谱系统分子泵应用于紧凑型质谱系统。
质谱分析是指与质谱分析相结合的一种核分析技术，用于实现同位素比值的测定.需要清洁无油的高真空环境，一般采用干泵配备涡轮分子泵实现高真空环境.质谱系统需要分子泵抽真空原因:1.电子加速运动的需要;2.电子正常工作的需要;3.加速管微波电场的需要(避免加速管中出现微波打火，必须抽到高真空). 中科院某大型科技工程项目，工程的主体建筑是三大:一台150mev（1.5亿电子伏特）的电子直线、一台能在0.5秒内把电子束能量从150mev提升到3.5gev（35亿电子伏特）的量增强器，以及一台周长432米的3.5gev电子储存环，
经过技术，成功采购爱发科涡轮分子泵和干泵，涡轮分子泵抽速范围10至2700l/s，转速-90，000rpm，ulvac-utm2300fw分子泵，-真空很大1e-11mbar，对小分子气体具有更高的压缩比，实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100，000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用，搭配旋片泵和干泵共同使用.
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为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院（）设计并执行了下面的测试：测试条件和装置被测分子泵的型号为twistorr304fscff6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径120厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。使用20℃的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。
使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的pt100热电阻测量定子的温度。测试过程试验期间，涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为1mt，泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行12个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为2mt，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到7mt。
当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为7mt时，平衡温度上升到100摄氏度左右（分子泵的很大允许温度为120度）。
另外，使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（5mt时，低大约40度）。
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