-质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标,通过实验,总结通过-质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
-质谱检漏仪原理:
-质谱检漏仪是一种以-气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不
-质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。
-质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔,可将标准漏孔拆卸进行校准,如果不能单独校准标准漏孔,就可考虑直接通过-质谱检漏仪进行漏率部分的校准,本文主要讨论这种情况下-漏率的校准方法。
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采用背压法检漏时,首先将被检产品置于高压的-气室中,浸泡数小时或数天,如果被检产品表面有漏孔,-气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中,使内部密封腔中-分压力上升。然后取出被检产品,将表面的残余-气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内,被检产品内部密封腔内的-气会通过漏孔泄漏到真空容器,再进入-质谱检漏仪,从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率,充气柜真空箱检漏系统,需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测,可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏,否则由于密封腔体容积太大,导致加压时间太长。此外,每个测量漏率都对应两个等效标准漏率,在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检,排除大漏的可能。
背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏。
北京科仪真空技术有限公司(简称:科仪)出资成立,创建于2015年,注册资金500万。是国内新兴的一家从事真空领域的-企业。
1.检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;
2.检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;
3.不会受到主观因素判断的影响;
4.检测的数据;
5.自动生成数据保存,可追溯数据来源。
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