窗门应与内墙平直,构造应考虑到空气和水蒸气的密封,洁净净化车间,使污染颗粒物不容易从外面渗入,洁净净化车间,避免室内外温差结露。房间内不一样洁净度房间之间的内门、内窗、装修隔断等间隙应密封。净化车间工程施工时,应控制工程施工作业中的粉尘量,洁净净化工程,尤其是吊顶、夹墙等隐蔽空间,福州洁净净化,-清理。
气流有如一个空气活塞,向-经室内,带走污染物,然后从地面排出。又在与外部的一些新鲜空气混合后,再循环至过滤器。人员和工艺所产生的悬浮污染可立即被这种空气清除掉,而紊流通风系统采用的是混合与稀释原理。
相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳湿度范围为35—45%。
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