洁净隧道：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，初效过滤器 净化设备，ulsi制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到-之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为更适宜使用。-、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室：将无尘室等级10，000~100，000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
-净化车间的基本原则：1.不向车间带入任何灰尘：保持车间正压；材料与设备经清洗后方可进入车间；-过滤器与结构不产生灰尘泄漏；人员经更衣换鞋、风淋后方可进入车间。2.不在车间产生任何灰尘：-车间净化公司体型人员应穿洁净服方可进入车间；不使用容易产生灰尘的材料与设备；不进行不-的移动；不带入无用品。3.不在车间积累任何灰尘：车间尽量不暴露风管和管道；不使设备角和四周清洁困难；遵守标准化净化工作程序。 4.快速去除车间内灰尘：增加换气率；在靠近产生灰尘的地方设置排气装置；采用合适的气流形式以避免灰尘粘在产品上。相关工作人员在进入-净化车间之前，必须要在外面的更衣室脱去带有脏污的外衣、饰品以及相关手机等，进入到当中的时候，潘集净化设备，必须穿戴符合标准的无尘衣和相关配套防护用具。
净化车间特殊的建造和使用方式使得进入、产生、滞留于室内的颗粒物尽量更少；室内的其他参数，如温度、湿度、气压按需要受控，也就是说不论外界的空气条件如何变化，净化车间内都能具有维持原先所设定的洁净度、温湿度及压力等特性。洁净车间可以分为工业洁净车间和生物洁净车间。目前，净化车间在与医学行业、化妆品行业、半导体行业、食品行业以及生物工程行业等得到了广泛的应用。然而随着洁净室的广泛应用，洁净室的高能耗问题越来越引起人们的关注。为了维持洁净室内较低的颗粒物浓度，洁净室设计人员通常通过提高换气次数利用洁净空气稀释颗粒污染物的方式来实现，这就使得洁净室的能耗是相同空间普通建筑的能耗的50倍左右。
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