微纳加工工厂-半导体真空镀膜实验室-陕西微纳加工

mems微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要-半导体产业发展的应用技术研究，-重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，微纳加工工厂，以及行业应用技术开发。

干法刻蚀能够满足亚微米/纳米线宽制程技术的要求，且在微纳加工技术中被大量使用。

当前纳米制造技术在环境友好方面有望大展身手的一些领域：

1、蓄电：改进传统充电电池的效率，使之能用于运输领域来减少排放，或作为高i效可再生能源的备用能源。纳米技术有望用于开发-电容器，为蓄电提供新的解决方案。

2、热电：新型纳米材料可将废热转化为电能，因而对于那些利用燃烧作为主要供能方式的领域（如混合动力汽车）来说，这将较-进节能。

3、燃料电池：作为可持续氢经济的组成部分或者是基于燃料电池的高i效的碳氢化合物，在减少汽车尾气排放方面都大有潜力可挖，抑或作为热电联产电站，来降低排放。

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mems微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要-半导体产业发展的应用技术研究，-重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，刻蚀微纳加工，以及行业应用技术开发。

微纳制造技术较早是由加工精度研究的角度延伸出来的。

微纳加工技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广、多学科交叉融合，其较主要的发展方向是微纳器件与系统（mems和nems）。微纳器件与系统是在集成电路制作上发展的系列专i用技术，研制微型传感器、微型执行器等器件和系统，具有微型化、批量化、成本低的鲜明特点，微纳加工技术对现代的生活、生产产生了-的促进作用，并催生了一批新兴产业。

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