密封器件的-质谱细检漏技术细分为压-法(即背压法) 和预充-法两种。d a howl 等首先给出了压-法测量漏率re 与等效标准漏率l 的关系，并-该关系对应的气流状态为分子流，文献-将压-法测量漏率与等效标准漏率关系式中个括号删掉，就得到预充-法的相应关系式。无论是压-法还是预充-法，在公式推导中都假定候检期间环境-中不存在-分压。然而，实际上地球干洁-中含有少量-气；压-时通常会产生检漏用-气对环境-的污染，使环境-分压超过地球干洁-中的-分压。因此，推导和分析环境-中-分压对压-法和预充-法的影响是十分-的。
（1）对于压-法，不需要考虑地球干洁--分压的影响。但是如果候检环境--分压-升高，对于内腔有效容积大，且等效标准漏率小的密封器件，会加大测量漏率值，所以压-结束后，被检器件应尽快离开压-设备所在的房间。
对于预充-法，油箱-检漏设备报价，地球干洁--分压会使测量漏率通过-值后出现值，且当候检时间与内腔有效容积之比大于100 h/ cm3 时，值点仍处于分子流范围，不能靠粗检法鉴别，所以需辅以压-法复检，才能防止漏检。
（3）地球干洁--分压会使预充-法候检时间的特征点变大，从而扩大了需要辅以压-法复检的范围，但第二特征点不变，油箱-检漏设备多少钱，也不影响压-法复检的结果。
1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，油箱-检漏设备价格，耗时耗力；
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，天津油箱-检漏设备，因此在半导体器件生产过程中必须进行-质谱检漏；
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过-质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易-，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和-环境。
4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。
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