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钨-钛(w-ti)膜以及以钨-钛(w-ti)为基的合金膜是高温合金膜,具有一系列的优良性能。钨具有高熔点、高强度和低的热膨胀系数等性能,w/ ti 合金具有低的电阻系数、-的热稳定性能。如各种器件都需要起到导电作用的金属布线,例如al 、cu 和ag 等已经被广泛的应用和研究。但是布线金属本身易 氧化、易与周围的环境发生反应,与介质层的粘结性差,金蒸发镀靶材技术,易扩散进入si 与sio2 等器件的衬底材料中,并且在较低的温度下会形成金属与si 的化合物, 充当了杂质的角色,使器件的性能大幅度下降。







采用连续式-法的情况下,不会有因切去加压成形产生的毛边或一般的挤压处理和在-处理槽内进行处理时橡胶管两端翘起的部分而导致的橡胶浪费,另外能够缩短制造时间和减少人工费用,因此能够降低辊筒的制造成本,贵州金蒸发镀靶材,从这些方面考虑,此方法优于间歇式-法。

此外,-处理后,由于对每个辊筒都进行了剪切,所以基本上不会出现上述差别,金蒸发镀靶材回收,这样就可-长度方向的电阻值的不均匀。
热压法:ito靶材的热压制作过程是在石墨或氧化铝制的模具内充填入适当粉末以后,以 100kgf/cm 2~1000kgf/cm 2的压力单轴向加压,同时以1000℃~1600℃进行烧结。热压工艺制作过程所需的成型压力较小,金蒸发镀靶材厂家,烧结温度较低,烧结时间较短。但热压法生产的ito靶材由于缺氧率高,氧含量分布不均匀,从而影响了生产ito薄膜的均匀性,且不能生产大尺寸的靶。

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