-质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度p1 优于200 pa 时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,-气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当p1降至20 pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,sf6真空箱检漏系统,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。
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科仪产品主要有:薄膜制备设备,真空冶金设备,检漏设备,真空系统等非标真空产品;系列分子泵,离子泵,钛升华泵,深冷捕集泵等高真空获得设备;系列干式涡旋泵,干式爪泵,干式螺杆泵等无油真空获得设备;真空环境模拟设备等-产品。今天科仪的小编就和大家分享一下-质谱检漏仪的主要配置有哪些,希望对您有所帮助!
1. 检漏仪分子泵
2. 机械泵或者干泵
3. 定制检漏仪电磁阀
4. 内置标准漏口
5. 放大器
6. 采用质谱模块
今天科仪的小编和大家分享的是-质谱检漏仪的工作原理,希望对您有所帮助!
-质谱检漏仪是一种以-气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器对其示漏气体-气有响应信号,而对其他气体没有响应,从而检漏。
sf6真空箱检漏系统由北京科仪-真空技术有限公司提供。北京科仪-真空技术有限公司为客户提供“真空箱式-检漏设备,lng低温容器抽真空设备”等业务,公司拥有“真空泵,真空机组,真空非标设备,真空仪表,检漏仪”等品牌,-于行业设备等行业。,在北京市昌平区南口镇科仪-真空技术的名声-。欢迎来电垂询,联系人:通总。
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