核聚变装置的10-4pa量级高真空运行环境的获得主要由低温泵、涡轮分子泵等可获得真空的泵实现。根据不同功能特点，有3类低温泵安装在iter装置上。cryostat低温泵抽气系统集成了两台超临界-气冷却低温吸附泵。200台分子泵需要满足不同子系统的应用要求。较低的真空获得由螺杆泵、罗茨泵和涡旋泵实现。为满足iter装置的环境条件，包括edwards和pfeiffer公司在内的真空泵制造商已经对真空泵的性能进行了适应性调整。为使edwards公司生产的涡轮分子泵的磁场容限适用范围更为宽泛，磁场容限增强型next400分子泵采用了16mm壁厚的马氏体不锈钢整体泵腔结构，导热基板的空气冷却结构，真空腔体加工价格，真空陶瓷引电和金属密封装置，非标真空腔体加工价格，以及耐辐射密封元件优化等多项新技术，实现了160mt磁场条件下-运行。
1、放电清洗
放电清洗一般用于高真空、真空腔体清洗中.放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系.利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除.
2、氮气清洗
氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短，容易被抽走的特性，用氮气冲洗被污染的真空系统，同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间，缩短真空系统的抽气时间.
化学抛光化学抛光是让材料在化学介质中表面微观凸出的部分较凹部分优先溶解，从而得到平滑面。这种方法的主要优点是不需复杂设备，可以抛光形状复杂的工件，可以同时抛光很多工件，。化学抛光的问题是抛光液的配制。化学抛光得到的表面粗糙度一般为数10μm。喷丸喷丸即使用丸粒轰击工件表面并植入残余压应力，提升工件疲劳强度的冷加工工艺。
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