0-12v500a水处理电解电源/0-12v500a电渗析电源

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　　-规模集成电路制造装备及成套工艺重大专项旨在开发集成电路关键制造装备，掌握具有自主-的成套-工艺及相关新材料技术，-我国-集成电路制造装备与工艺完全依赖进口的状况，带动相关产业的技术提升和结构调整。

　　十一五期间，该专项重点针对6545纳米技术代进行系统性布局，取得-性突破。北京北方微电子公司研制的12?65nm栅刻蚀机，和北京中科信公司研制的12?离子注入机，目前都已经在中芯生产线进行考核，指标达到了国外同类产品水平。上海中微半导体公司研制的12?65nm介质刻蚀机向台湾、韩国、日本销售订单已有20多台。上海微电子装备公司研发的步进投影式光刻机，已经成功进入江阴长电的-封装生产线，实现了我国光刻机产品的重大突破。

　　ic装备专项在工艺方面也取得了重大突破。中芯自主研发的65nm低漏电产品工艺已实现量产，45nm工艺正在做量产准备。上海华虹、宏力、无锡华润一批特色产品工艺、以及专项研制的部件和材料产品实现了产业化集展。