万豪二次元_二次元_特维尼科技

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二、规格参数

1.高精密花岗石工作台、底座和立柱

2.量测行程:x轴: 600mm/y轴:500mm/z轴:250mm

3.x/y轴线性精度: (4+l/200)um

4.x/y/z光学尺分辨率: 1um

 

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