洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其的一个不可忽视的方面。所谓静电，是由于摩擦等原因破坏了物体中正(+)负<一）电荷等量的均匀的电中性状态，而使电荷过剩，物体呈带电状态，由于这些电荷平时是不流动的，故称静电。在洁净室内静电导致的事故有以下几方面；1．静电电引起的静电-，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受-而摔倒，由摔倒又致伤)；2．静电放电引起的放电电流 2014山东潍坊净化车间，可导致诸如半导体元件等破坏和误动作，例如将50块p- mos电路放在塑料袋内 山东潍坊净化车间预算，摇晃数次后，与非门栅极-击穿者计39块，失效率竞达78% 山东潍坊净化车间，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏；3．静电放电产生的电磁波可导-子仪器和装置的杂音和误动作；4．静电放电的发光可导致照相肢片等感光破坏；5．静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞，纺纱线纷乱，印刷品深浅不均和制品污染。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用 -山东潍坊净化车间，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(clean tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。
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