万级无尘室静电库仑力
在静电库仑力的作用下,吸附的粉尘、污物造成元器件增大泄漏或形成短路,使性能受损 医院净化室工程安装,成品率和-性-下降。如粉尘粒径>100ΜM,铝线宽度约100ΜM,氧化膜厚度在50ΜM时,易使产品报废。现在线径更细 医院净化室工程,氧化膜很薄,粒径很小的尘粒子就会损害元器件,这种情形多发生在腐蚀清洗、光刻、点焊和封装等工艺过程中。
静电放电
万级无尘室ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖,信号强,相当于电路中几伏的能量,频率跨越几MH2甚几百MH2的-噪声,可能引起元器件损坏,设备和传感器不正常工作,甚至引起设备死机。
引起的EMI还会引发错误信号的输入,或发生锁存现象。如无尘车间中,将晶圆片的EMIF箱放在钢的手推车上,晶圆片的ESD会通过电感传给手推车,车轮是绝缘的,则EMI的扩散会引起晶圆片处理机死机。
-人体
万级无尘室元器件的绝缘氧化膜被击穿,引线被烧断或线间熔断。若人体带上10KV(100PF)的静电荷,触摸器件脚时发生ESD,其向大地瞬间形成脉冲放电电流峰值可达20A(10~100S),不要说高密度,细线径 医院净化室工程公司,薄SIO2膜的LSI、VLSI,就是一般IC、MOS都会遭受损坏。
造成噪声、发射电磁波干扰
人体的ESD或对人体的ESD当超-体--电流5MA以上时,人都会有各种伤害感觉,造成工作人员的情绪不安,操作错误。
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